EUV?DUV?什麼是曝光機(光刻機),一看就懂超簡單
前陣子總是可以看到關於EUV的新聞,大家都說他可是先進製程中最關鍵的設備,不僅台積電出鉅資大力購買,競爭對手Samsung(三星)、Intel(英特爾)可也都捧著錢去找ASML(艾斯摩爾)了呢。 到底EUV是什麼神奇的設備? 讓各家廠商可是不計成本,只為了比對手更早拿到。 他的製造商ASML(艾斯摩爾)又是何方神聖? 完全壟斷了EUV的市場,成為高階曝光機(在對岸叫做光刻機)的龍頭。 不要緊,這次就讓研究家帶你輕鬆看懂EUV以及DUV 。